特點:
平移滑臺采用粗調+微調結構,靈敏度優于0.5μm
旋轉滑臺靈敏度優于23.4″
穩定性高,具有較高性價比
型號 |
UFP1A |
UFP1B |
UFP1C-L |
UFP1C-R |
UFP2T-L |
UFP2T-R |
臺面尺寸(mm) |
60×60 |
45×45 |
||||
臺面厚度(mm) |
20 |
25 |
30 |
- |
||
移動量 |
粗調:±6.5mm;精調:±0.3mm |
θx:±3°;θy:±3° |
||||
導向機構 |
線性滑塊導軌 |
交叉滾柱導軌 |
交叉滾柱軸環 |
|||
驅動 |
分厘卡 |
|||||
主體材料及表面處理 |
鋁合金,黑色陽極氧化處理 |
|||||
自重(Kg) |
0.28 |
0.32 |
0.4 |
0.64 |
||
靈敏度 |
粗調:≤10µm;精調≤0.5µm |
θx:≤25.2″;θy:≤23.4″ |
||||
靜態平行度 |
≤60µm |
- |
||||
運動平行度 |
≤10µm |
- |
||||
運動直線度 |
≤3µm |
- |
||||
水平負載(Kg) |
5 |
5 |
5 |
1.5 |
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