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型號 |
SD15.x.C |
SD30.x.C |
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運動方向 |
X方向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
62×40×13.5 |
80×40×13.5 |
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主體材料 |
鋁合金 |
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自重（g） |
250 |
350 |
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運動行程（um） |
15（閉環） |
30 （閉環） |
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運動分辨率（nm） |
0.1 |
0.2 |
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運動可重復精度（nm） |
2 |
4 |
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線性誤差 |
優于 0.035% |
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搖擺（urad） |
2 |
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俯仰（urad） |
2 |
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共振頻率（kHz） |
3.3 |
2.2 |
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共振頻率 (300g）（kHz） |
1 |
0.625 |
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剛性（N/um） |
28 |
18 |
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閉環傳感器（閉環版本） |
電容式 |
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推薦使用溫度 |
-20 ~ 80 °C |
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13810146393
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