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型號 |
UFP3C-L |
UFP3C-R |
UFP5C |
UFP5C-R |
UFP6C-L |
UFP6C-R |
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行程 (靈敏度) |
X |
粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) |
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Y |
粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) |
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Z |
粗調：±6.5mm；精調：±0.3mm；(粗調：≤10μm；精調：≤0.5μm) |
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θx |
- |
- |
±3°(≤25.2″) |
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θy |
- |
- |
±3°(≤23.4″) |
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θz |
- |
- |
- |
- |
±4°(≤34″) |
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導向機構 |
交叉滾柱導軌 |
交叉滾柱導軌+交叉滾柱軸環 |
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驅動方式 |
分厘卡 |
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主體材料及表面處理 |
鋁合金，黑色陽極氧化處理 |
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自重(Kg) |
1.74 |
2.37 |
2.7 |
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負載(Kg) |
1.5 |
1 |
0.5 |
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13810146393
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