歐庫睿因i4系列桌面式主動隔振系統

桌面式主動隔振平臺，用于搭配掃描電子顯微鏡，六自由度主動隔振

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產品概述

歐庫睿因主動隔振臺：為各型科學儀器實現主動隔振

歐庫睿因主動式隔振技術高精度設備的完美展現

自從高分辨率測量和制造技術達到納米尺度以來，振動就一直是一個重要問題。有效消除振動干擾是獲得精確和可重復測量結果的關鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。典型的振動來源可能是：

· 建筑物和地面的振動(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz)

· 聲學振動(>20 Hz)

· 機動設備和機器(10-500 Hz)

主動隔振的基本原理是通過產生反作用力對干擾振動進行主動補償

精選范例

歐庫睿因主動隔振系統的工作原理

應用設備和承載臺面由彈簧支撐。其目的是實現主動隔振所需的浮動狀態。承載臺面可以向各個方向移動。在工作狀態中，桌面上的應用設備與環境振動隔離。

振動由極其靈敏的壓電式加速度計檢測。傳感器輸出信號由控制電路進行分析和處理，控制電路驅動電動執行器，電動執行器實時產生對抗振動的反作用力。主動隔振在6個自由度內有效。

主要特征

■ 相比于氣浮式隔振臺，主動隔振臺沒有低頻共振，即使在低頻范圍內也有出色的隔振性能。

■ 超快的穩定時間：低至0.3秒(普通被動隔振臺的穩定時間為30秒至60秒)。

■ 主動隔振臺帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠超被動隔振臺)。

■ 6個自由度主動隔振。

■ 真正的主動隔振：及時產生反作用力來抵消振動。

■ 操作簡單-按鈕式解決方案。

■ 設計緊湊，安裝簡便。

■ 高度的位置穩定性-1Hz 時固有剛度通常是被動隔振臺的20到30倍。

■ 接電即可，無需壓縮空氣。

■ 適用于將高分辨率測量設備與建筑振動隔離。

■ 廣泛的適用范圍：擁有標準化產品和用戶定制產品。

VarioBasic 40搭配成像橢偏儀

i4 Large搭配3D輪廓儀

歐庫睿因i4 系列桌面式主動隔振系統