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SH30.xyz.C系列

亞納米高負(fù)載壓電掃描臺SH30.xyz.C系列

三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x15 um
 
 
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產(chǎn)品概述
特點：
• 三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x15 um
• 外形尺寸，160mmx160 mmx 35 mm
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.3nm
• 最大負(fù)載 10 kg
• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 選件升級
 
選型表

型號

SH30.xyz.0 /.C

運動方向

X ,Y ,Z 方向

底面尺寸×高度（mm）

160×160×35

主體材料

不銹鋼

自重（g）

4000

運動行程（um）

30×30×15

運動分辨率（nm）

0.1(開環(huán)) 0.3(閉環(huán))

運動可重復(fù)精度（閉環(huán)）（nm）

<3

偏擺角度（urad）

20/ 20 / 50

共振頻率 (空載)（Hz）

50

最大負(fù)載（kg）

10

閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）

電容式

驅(qū)動電壓（V）

150

推薦使用溫度

-20 ~ 80 °C
 
亞納米高負(fù)載壓電掃描臺SH30.xyz.C系列尺寸圖