產(chǎn)品簡介
微納光電成像測試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段，通過不同波長激光進(jìn)行探測，分析表征光電子器件的短路電流分布，表面缺陷， 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像，分析各種參數(shù)的平面均勻性，為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。
卓立漢光經(jīng)過多年研究，推出基于振鏡顯微系統(tǒng)的LBIC 系統(tǒng)。本設(shè)備有著快速掃描，高分辨等特點，可以廣泛應(yīng)用于：單晶硅、多晶硅、非晶硅、有機(jī)半導(dǎo)體、染料敏化等各類太陽能電池研究，也可以應(yīng)用于GaN 等光電器件的研究。對光電探測器的量子效率， 器件的電阻分布特征，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面，半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等提供可靠的分析數(shù)據(jù)。
系統(tǒng)結(jié)構(gòu)描述：
激光通過掃描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，由顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號通過探針引出至電流源表，再通過軟件在軟件中讀出。掃描時，振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度，激光的光斑在樣品的XY 方向上掃描移動， 軟件記錄每一個激光聚焦光斑的位置和其對應(yīng)的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流分布。由于采用振鏡結(jié)構(gòu)，光斑移動在物鏡處是不同位置入射，而不是不同角度入射，因此可以保證入射到樣品不同位置的光斑模式不會變化
整個系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如下圖所示：包含
■ 光源（激光器或者連續(xù)光源），
■ 顯微鏡，掃描振鏡，
■ 數(shù)字源表，
■ 探針臺和計算機(jī)軟件等。
系統(tǒng)原理結(jié)構(gòu)如下圖所示：
下圖為光斑在掃描設(shè)定不同位置模式?jīng)]有變化
■ 樣品更換方便；
■ 探針可整體位置二維移動，方便測試樣品的不同位置；
■ 樣品為靜止?fàn)顟B(tài)下實現(xiàn)掃描（mapping），消除普通位移平臺模式下的震動影響。
■ 軟件可視化，可任意選取掃描范圍（測試區(qū)間位置通過框圖的方式選取，實現(xiàn)了可視范圍即掃描范圍）
應(yīng)用領(lǐng)域
納米材料，二維材料，晶圓分析，探測器光電性能檢測， 面陣探測器Pixel 檢測，器件電荷生成的微區(qū)特性等等
基本參數(shù)
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標(biāo)配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時 可選配2路激光器用于光電流測試
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反射式/透射式LED照明
物鏡：標(biāo)配（20X， WD=7.5mm） 超長工作距離 最大掃描范圍：260 x 200 μm （20x物鏡下） 位置重復(fù)性：小于1 μm
最小掃描步長：0.2μm 步長可選范圍：0.2-30μm 激光光斑：2μm
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電流源表：Keithley 2450
測量范圍：1nA ? 1A 暗噪聲：50pA 分辨率：20fA 準(zhǔn)確度： 0.03%
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直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合
樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換
樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選
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光電流掃描（Mapping）：可以設(shè)定固定的電壓，逐點獲取電流值
I-V曲線掃描（Mapping）：可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間，逐點獲取I-V曲線 指定區(qū)域掃描（Mapping）
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光譜范圍200-1100nm，可以擴(kuò)展到2500nm
光譜響應(yīng)度曲線 量子效率曲線 偏壓設(shè)置功能
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波長：405nm或者635nm可選，其他波長咨詢銷售
能量穩(wěn)定性：小于1%@2個小時 功率：10mW和30mW（可選）
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軟件測試樣品圖示
電腦配置：
主機(jī)：i7，16G 內(nèi)存，256G 固態(tài)+2T 機(jī)械硬盤， 2G 獨顯；21.5 英寸電腦顯示器
軟件功能：
- 光斑位置移動；
- 選取測試區(qū)域；
- 實現(xiàn)監(jiān)控開關(guān)；
- IV曲線參數(shù)設(shè)置；
- 實時顯示測試數(shù)據(jù)和測試點位置；
- 顯示測試進(jìn)度和測試用時間；
功能：
閾值處理；局部放大，等高線顯示，三維顯示，單點測試數(shù)據(jù)顯示，導(dǎo)出txt，excel 數(shù)據(jù)等。
軟件功能說明：
軟件測試界面如下圖：
各部分功能介紹如下：
數(shù)據(jù)分析軟件界面如下圖所示：
該分析軟件有強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，如下圖所示快捷按鈕。
功能包括：調(diào)節(jié)適配數(shù)值區(qū)域；放大選中區(qū)域；回到全部區(qū)域；等高線顯示；顯示一條直線上的信號分布，三維顯示，導(dǎo)出數(shù)據(jù)等。數(shù)據(jù)分析功能很多，很強(qiáng)大，幾乎包含常見的數(shù)據(jù)分析方法。
測試案例：
- 硅基探測器：有效面120X120um。
測試條件：
圖A, 樣品掃描區(qū)域的CCD 監(jiān)控圖，圖B, 樣品mapping 數(shù)據(jù)處理等高線圖以及三維圖。
2. 納米材料-WSe2：有效面積25X10um
測試條件：
圖A, 樣品監(jiān)控區(qū)域成像圖，圖B, 樣品掃描區(qū)域的CCD 監(jiān)控圖，圖C, 樣品掃描（mapping）數(shù)據(jù)處理等高線圖以及三維圖。
選型列表：
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規(guī)格/型號
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DSR500-LBIC
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DSR500-LBIC-RDB
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激光器
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波長532nm，功率：30mW；穩(wěn)定性：1%@2小時
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物鏡
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20X@奧林巴斯，WD=7.5mm，波長范圍：350-750nm
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探針臺
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2個探針座
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數(shù)據(jù)采集
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Keithley 2450
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無
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13810146393
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