Gloria-LDLS-A 激光誘導高亮度白光光源
寬帶白光光源，采用激光泵浦的方式維持等離子體放電發光，避免了使用電極所帶來的種種缺陷。
特點和優勢
■ 超高亮度
■ 超寬光譜
■ 超長壽命
■ 超穩定的緊湊型激光誘導白光光源
■ 光譜輻射亮度：40mW/(mm2*sr*nm)@400nm
■ 輸出方式：自由空間輸出
■ 數值孔徑：0.47
■ 功率穩定性：RMS<0.3%@30S
■ 燈泡壽命（典型值）：10000小時
■ 發光點尺寸：97*194um
■ 光源尺寸：82*86*76
■ 電源尺寸：113*111*209
■ 冷卻：自然冷卻，無需外部輔助
■ 充氮：工作在DUV時需要通入氮氣
光譜分布圖
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