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型號 |
LS35z.Lab .O / .R |
LS65z.Lab.O / .R. |
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底面尺寸×高度（mm） |
35×35×33 |
65×65×42.5 |
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主體材質 |
默認不銹鋼（可選鋁合金、純鈦版） |
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自重（g） |
102g（.R）200g(.O) |
300g(O) |
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運動行程（mm） |
10 |
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最大速度（mm/s） |
-10 |
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最小步伐（nm） |
~10 |
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重復定位精度 |
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驅動頻率 |
Max. 20 kHz （超安靜運動） |
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最大負載（g） |
500 |
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全行程俯仰/偏擺 |
0.3 mrad / 0.2 mrad（0.017°/0.012°） |
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位置傳感類型 |
-電阻型傳感（ .R ） -光柵尺傳感（.O ） |
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位置傳感量程（mm） |
10 |
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位置傳感分辨率 |
- 電阻型傳感（ .R ），100-200 nm - 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
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