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型號 |
Carrier.OB.050.C |
Carrier.OB100.C |
Carrier.OBHL100.C |
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外形尺寸 |
詳見各型號尺寸圖 |
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材質 |
不銹鋼/鋁合金 |
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自重（g） |
270 |
270 |
500 |
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運動方向 |
Z 軸 |
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行程（um） |
50 |
100 |
100 |
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線性度 |
0.02% |
0.03% |
0.02% |
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內置傳感器 |
電容式傳感 |
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傳感器噪聲（nm） |
1 |
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Z方向分辨率，開環（nm） |
0.2 |
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穩定時間 (90%位置到達)（ms） |
10 |
15 |
10 |
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共振頻率（無負載）（Hz） |
600 |
500 |
900 |
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共振頻率（150 g 負載）（Hz） |
300 |
250 |
500 |
13810146393
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