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型號 |
Free6D.3-2.150 |
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外形尺寸（mm） |
Ø150×112 mm |
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主體材料 |
不銹鋼/鋁合金 |
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運動參數 |
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行程 X, Y, Z |
± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm |
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行程 ΘX, ΘY , ΘZ |
± 10 °, ± 10 °, ± 20 ° |
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單向重復定位精度 X, Y, Z |
± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um |
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單向重復定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ |
± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad |
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最小位移 X, Y, Z |
0.1 um, 0.1 um, 0.1 um |
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最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ |
5 urad, 5 urad, 5 urad |
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位置傳感參數 |
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集成傳感器 |
光學編碼器 |
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位置傳感分辨率 |
- 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選 |
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控制器信息 |
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工作電壓 |
220 V |
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控制器通道 |
6通道輸出控制 |
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通訊接口 |
USB，232，網口通訊 |
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控制軟件 |
提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制 |
13810146393
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