光學部分設計概述
定制樣品夾具，帶手動傾斜校正，可在顯微鏡下，通過對焦的清晰度，對樣品盤進行手動傾斜校正，讓樣品在整個掃描范圍內，處于同一對焦面內，保證采用聚焦光斑測試時的穩定性。
配備兼容2寸的大范圍高精度自動掃描臺，手動放片后，掃描臺托載晶片實現晶片上多點的自動掃描Mapping功能，步長精度<1μm，X方向運動范圍50mm，Y方向運動范圍50mm，Z方向運動范圍20mm。
顯微鏡可在顯微成像和光電流兩種模式下切換，顯微模式下，物鏡轉輪切換到紫外消色差透鏡組，可通過微區顯微鏡相機觀察微區圖像和激光光斑，用戶可以通過顯微像確認樣品圖案是否對準、激光光斑聚焦情況、樣品是否傾斜等。
顯微鏡模組內通過激光采樣鏡和標準探測器，對激光能量波動進行檢測，用于補償光電流測試的結果。
可通過物鏡切換轉輪，在聚焦和非聚集的兩種情況下測量：聚焦時，光斑通過紫外消色差透鏡組聚焦到0.5mm以下，Mapping小范圍，測量探測器的不均勻性；不聚焦時，物鏡轉輪切換到通孔，直接用高斯光束照射樣品，通過光闌控制高斯光束的束寬，根據輸入的版圖位置測量器件不同區域的響應度。
激光包括193、266和355激光器，激光通過激發和收集模組、耦合光路模組傳輸到物鏡前端并聚焦，激光通過切換鏡進行切換。通過衰減片對能量進行衰減，通過光闌控制光束的束直徑。
氙燈和單色儀通過光纖接口接入耦合光路模組，經過深紫外透鏡組準直后，到達物鏡后，聚焦到樣品表面，光斑直徑約200微米。
電學部分設計概述
穩態光源測試模式：
穩態光源（等離子體光源+單色儀）照射下，標準探測器和待測樣品直接接偏壓，通過雙通道源表同時獲取光電流隨時間的變化。
脈沖光源測試模式:
脈沖電學測試:脈沖激光照射下,標準探測器和待測樣品接跨導放大器,將光電流轉化為電壓,通過多通道示波器同時獲取標探和待測樣品的電壓隨時間的變化。此時偏壓固定,由放大器提供偏壓。
系統規格
革命性的插槽式并聯光路設計
優勢:
強大的光路穩定性：取消了傳統意義上的顯微鏡周邊冗余，更加貼合光路穩定性要求比較高的未來應用場景
無限拓展的可能性：顯微鏡光路，熒光，RAMAN，振鏡掃描光電流光路，不同波長的熒光與RAMAN測試，依次并聯，無限拓展
定量測試的高準確度：激光功率校準集成在顯微鏡模組中，通過測量激光采樣鏡獲取的少量激光光強，可作為激光功率的實時校準和參考，并通過集成在熒光和拉曼模組中的連續衰減片調節光強。
更多的功能實現：熒光光強對于激發功率密度非常敏感，要準確的比較不同樣品的熒光光強，需要應用翹曲度模組通過自動對焦，固定激發光斑的大小，同時通過激光功率校準來固定激發光強，最終保證了顯微共聚焦熒光光強的穩定性和可比較性。
智能化軟件平臺和模塊化設計
· 統一的軟件平臺和模塊化設計
· 良好的適配不同的硬件設備：平移臺、顯微成像裝置、光譜采集設備、自動聚焦裝置等
· 成熟的功能化模塊：晶圓定位、光譜采集、掃描成像Mapping、3D層析，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光電流Mapping等。
· 智能化的數據處理模組：與數據擬合、機器學習、人工智能等結合的在線或離線數據處理模組，將光譜解析為成分、元素的分布等，為客戶提供直觀的結果?？筛鶕?br />
· 戶需求定制光譜數據解析的流程和模組
· 可根據客戶需求進行定制化的界面設計和定制化的RECIPE流程設計，實現復雜的采集和數據處理功能。
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