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MAPS-LBIC系列多功能光電流掃描成像系統

光電流掃描成像：通過2D位移臺逐點掃描方式，對樣品進行光電流強度分布成像。此功能僅需將系統標配的磁吸樣品臺替換為電學樣品臺，再配合相應的源表，鎖相放大器，前置放大器等外置設備即可實現。此外，配合Waynelabs3 的電動化組件，可支持自定義更多功能，如本頁的掩模版掃描成像功能
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產品概述
多功能光電流掃描成像系統
 
Waynelabs3 微區架構兼容各類樣平臺，與電學測量系統整可開展光電流掃描成像測試。光電流響應的測試流程為：激發光經斬波后（或直接通過外部TTL調制），再經分束鏡物鏡引入到樣品上；通過源表外加偏壓使樣品上每一點產生光電流信號，將其接入鎖相放大器采集信號；
光電流掃描成像：通過2D位移臺逐點掃描方式，對樣品進行光電流強度分布成像。此功能僅需將系統標配的磁吸樣品臺替換為電學樣品臺，再配合相應的源表，鎖相放大器，前置放大器等外置設備即可實現。此外，配合Waynelabs3 的電動化組件，可支持自定義更多功能，如本頁的掩模版掃描成像功能。
 
系統原理示意圖
*此圖僅作為原理示意，以實際為準
基本功能
 
· 單點激發測光電流響應及Mapping；
· 電動變功率及變偏振的光電流測量；
· 配備常溫及低溫、氣氛電學樣品臺；（可選）
· 可增配激發光調制模塊（激光投影/寬場激發/矢量光入射等）
 
多功能光電流掃描成像系統應用場景
主要用于表征光電材料及器件的光電流響應及強度分布
· 光電探測器的量子效率；
·  器件的電阻分布特征；
· 太陽能電池光生電流的分布特性；
· 器件光吸收及光生電荷的分布特性；
· 半導體結區/界面的電荷分布等。
 
典型數據圖
多功能光電流掃描成像系統典型參數配置
 
測試光源：寬譜光：400 - 1100 nm（標配）；400 - 2000 nm（可選） 激光：375 - 1064 nm （選配）
空間分辨率： ＜ 1 mm
電動位移行程：50 mm × 50 mm × 40 mm
掃描精度： ＜ 1 mm，步進最小 0.04 mm
偏振控制： 電動（可選）
光路切換方式：電動，軟件控制
物鏡組： 5X，10X，20X，50X，100X可見光物鏡；其它物鏡可定制
照明光源： 高顯色LED面光源
信號采集： 16路插入式芯片及配套插座；16路單獨可控接地盒；前置放大探頭，鎖相放大器
軟件功能：移動視場，切換物鏡，對焦，框選掃描區域均可用鼠標直接在圖像顯示窗口操作；電動功率調整；自動化光路模式切換；自動化Mapping；自動化偏振Mapping；實時處理與顯示數據