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STS系列拉曼/熒光/光電流原位測試系統

基于RTS-mini顯微系統而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能,配合高精度微米電動位移臺,實現Raman/PL Mapping及激光誘導光電流成像。深度表征材料內部分子振動能級與轉動能級結構信息,光生載流子的生成與復合機制,器件吸收和電荷生成的微區特性,光電材料界面及半導體結區的品質分布等。
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產品概述
基于RTS-mini顯微系統而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測試功能。該系統可原位探測拉曼、熒光及光電流信號。配合高精度微米電動位移臺,實現Raman Mapping,PL Mapping以及激光誘導光電流成像(LBIC)。深度表征材料內部的分子振動能級與轉動能級結構信息,光生載流子的生成與復合機制,器件吸收和電荷生成的微區特性,光電材料界面以及半導體結區的品質分布等特性。
拉曼/熒光/光電流原位測試系統技術參數
 
拉曼/拉曼Mapping 拉曼頻移范圍 60-6000cm-1 @532nm激光器
共焦方式 光纖共聚焦
高靈敏度 硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1,并能觀察到四階峰
空間分辨率 ≤1μm@100X物鏡,NA0.9,532nm單縱模激光器
光譜CCD探測器
分辨率≥2000x256
量子效率在700nm-870nm區間處>90%,
光譜范圍:200 ~ 1100 nm
熒光/熒光壽命成像 光譜掃描范圍 200-900nm
最小時間分辨率 16ps
熒光壽命測量范圍 500ps-10μs
空間分辨率 ≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器
光電流/光電流成像 激光器(光源)
標配532nm激光器,能量穩定性1%@4小時
可選配2路激光器用于光電流測試
數據采集
電流源表:Keithley 2450
測量范圍:1nA – 1A
暗噪聲:50pA
分辨率:20fA
準確度: 0.03%
探針臺
直徑65mm真空吸附卡盤
探針座和樣品整體二維移動,方便樣品位置與光斑位置重合
樣品位置單獨二維移動,方便同類樣品更換
樣品位置移動行程25mm,分辨率5μm
探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm
探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選
測試功能
光電流掃描(Mapping):可以設定固定的電壓,逐點獲取電流值
I-V曲線掃描(Mapping):可以設定指定的電壓區間,逐點獲取I-V曲線