Raman與

Raman Mapping

Raman 光譜范圍

80-9000cm-1 @532激光器

共焦方式

針孔共聚焦

靈敏度

硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1，并能觀察到四階峰

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模激光器

光譜CCD探測器

分辨率≥2000x256

量子效率在700nm-870nm區間處>90%，

光譜范圍：200 ~ 1100 nm

熒光

光譜掃描范圍

200-900nm

最小時間分辨率

2ps或16ps可選

熒光壽命測量范圍

100ps-10μs

激光器波長

193nm/195nm/213nm/266nm/375nm/405nm等多波長穩態與瞬態激光器可選

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器

位移臺范圍

掃描范圍大于300x300mm^2，最小分辨率1um

光電流 Mapping

激光器

標配532nm激光器，也可以選擇其他波長激光器 例 如405nm/633nm/785nm等

光路

振鏡光路設計，可以兼容低溫臺

掃描范圍

掃描范圍大于200×200 μm2

數據采集

電流源表：Keithley 2450

測量范圍：1nA – 1A

暗噪聲：50pA

分辨率：20fA

準確度： 0.03%

探針臺

直徑65mm真空吸附卡盤

探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合

樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換

樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm

探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm

探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選

測試功能

光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流值

I-V曲線掃描（Mapping）：可以設定指定的電壓區間，逐點獲取I-V曲線

低溫臺

77k-300k，其余溫度可選，電學接口可選

瞬態光電流/光電壓測試

可以增加脈沖激光器例 如ns脈沖YAG激光器 , 進行瞬態光電流/光電壓測試

自動聚焦

激光自動聚焦

自主研制的激光輔助離焦量傳感器。可在無圖案晶圓上實現精確自動聚焦和表面跟蹤。輔以圖形邊緣識別，實現雙模式自動調焦。

明場成像與照明系統

自主研制的小型化科勒照明系統。照明視場均勻、無暗角，成像視場中心和邊角均有高對比度和解析度。

全自動操作

全軟件控制，自動調焦、尋區、切換物鏡

對焦精度

在全掃描范圍自動聚焦和實時表面跟蹤對焦精度<0.2 μm

晶圓測試

樣品臺

8時吸氣臺(12時可定制)可兼容2、4、6、8吋晶圓片

功能

應力測試，載流子濃度，缺陷檢測等

軟件分析

可對光譜峰位、峰高和半高寬等進行擬合。可自動擬合并計算應力、晶化率、載流子濃度等信息，樣品數據庫可定制。主成分分析(PCA)和k-均值聚類處理模塊。將擬合結果以二維圖像方式顯示。