Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空壓電掃描臺產品特?
• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；
• 閉環定位精度優于 1nm；
• 最?負載 500 g；
• 針對光學顯微鏡-超分辨定制化解決?案；
• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級
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型號 |
Carrier200.xy. /xyz.C |
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運動方向 |
Carrier.S200.XY : X，Y 方向 Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
182×150×15 |
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主體材料 |
鋁合金/ 不銹鋼 |
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自重（g） |
1000 |
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運動行程（um） |
Carrier.S200.xy : 200×200 Carrier.S200.xyz : 200×200×200 |
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中間通孔尺寸（mm） |
77×65 |
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運動分辨率（nm） |
2 |
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運動可重復精度（nm） |
士20 |
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線性誤差 |
優于 0.1% |
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共振頻率（Hz） |
200(X) 150(Y) |
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最大負載（g） |
500 |
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閉環傳感器（閉環版本） |
電容式 |
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驅動電壓 |
Max. 150 V |
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推薦使用溫度 |
-15 ~ 40 °C |
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質量（kg） |
1 |
13810146393
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