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型號 |
Mirrors.TxTy0303 |
Mirrors.TxTy1010 |
Mirrors.Z12TxTy0101 |
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運動方向 |
TX,TY |
Z，Tx & Ty 向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
詳見工程圖 |
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主體材料 |
鋁合金 & 不銹鋼 |
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運動行程 |
θX, 3 mrad θy, 3 mrad |
Θx,10mrad Θy,10mrad |
12 um / 1 mrad / 1mrad |
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運動分辨率 (開環) |
0.05urad（開環） |
0.2urad（開環） |
Z：0.2 nm； Tx：0.05 urad；Ty：0.05 urad |
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運動分辨率 (閉環) |
0.1urad（閉環） |
0.5urad（閉環） |
Z：0.4 nm； Tx：0.1 urad； Ty：0.1 urad |
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線性誤差 |
<0.1% |
0.2% |
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共振頻率 (空載) |
2 kHz |
1 kHz |
5.5 kHz |
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搖擺半徑 |
5.5mm |
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閉環傳感器（閉環版本） |
SGS |
電阻式 |
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驅動電壓 |
Max.150V |
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推薦使用溫度 |
-20~80℃ |
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搭配控制器 |
Archimedes.3S控制器 |
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鏡片重量 |
30g |
30g |
/ |
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