SPM600 系列半導體參數分析儀是一款專用于半導體材料光電測試的系統。其功能全面，提供多種重要參數測試。系統集成高精度光譜掃描，光電流掃描以及光響應速率測試。40μm 探測光斑，實現百微米級探測器的絕對光譜響應度測量。超高穩定性光源支持長時間的連續測試，豐富的光源選擇以及多層光學光路設計可擴展多路光源，例如超連續白光激光器，皮秒脈沖激光器，半導體激光器，鹵素燈，氙燈等，滿足不同探測器測試功能的要求。是半導體微納器件研究的優選。
功能：
■ 光譜響應度光源選項
卓立漢光根據樣品光譜相應范圍選擇適合的光源，如EQ 光源，氙燈光源，氙燈溴鎢燈復合光源。
EQ光源
特點：
■ 光譜范圍寬：190-1700nm寬光譜范圍；特點：
■ 光譜范圍寬：250-1700nm寬光譜范圍；特點：
■ 光譜范圍：250-2500nm
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