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半導(dǎo)體晶圓拉曼光譜測試系統(tǒng)

半導(dǎo)體晶圓拉曼光譜測試系統(tǒng)具有自動對焦和實(shí)時表面跟蹤功能，無需樣品標(biāo)記，可進(jìn)行無損非接觸式測量，空間分辨率＜1μm。系統(tǒng)可以對第三代半導(dǎo)體進(jìn)行組分、應(yīng)力、載流子濃度、結(jié)晶度和缺陷進(jìn)行檢測，廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的質(zhì)量監(jiān)控、失效分析。

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半導(dǎo)體晶圓拉曼光譜測試系統(tǒng)R1——應(yīng)力、組分、載流子濃度

面向半導(dǎo)體晶圓檢測的拉曼光譜測試系統(tǒng)
主要功能：

•光穿過介質(zhì)時被原子和分子散射的光發(fā)生頻率變化，該現(xiàn)象稱為拉曼散射。

•拉曼光譜的強(qiáng)度、頻移、線寬、特征峰數(shù)目以及退偏度與分子的振動能態(tài)、轉(zhuǎn)動能態(tài)、對稱性等緊密相關(guān)

•廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的質(zhì)量監(jiān)控、失效分析。

儀器架構(gòu)：

性能參數(shù)：

拉曼激發(fā)和收集模塊	激光波長	532 nm
	激光功率	100 mW
	自動對焦	•在全掃描范圍自動聚焦和實(shí)時表面跟蹤 •對焦精度<0.2微米
	顯微鏡	•用于樣品定位和成像 •100x，半復(fù)消色差物鏡 •空間分辨率<2微米
	拉曼頻移范圍	80-9000 cm-1
樣品移動和掃描平臺	平移臺	•掃描范圍大于300x300mm。 •最小分辨率1微米。
	樣品臺	•8寸吸氣臺（12寸可定制） •可兼容2、4、6、8寸晶圓片
光譜儀和探測器	光譜儀	•320 mm焦長單色儀，接面陣探測器。 •分辨率<2.0 cm-1。
軟件	控制軟件	•可選擇區(qū)域或指定點(diǎn)位自動進(jìn)行逐點(diǎn)光譜采集
軟件	Mapping數(shù)據(jù)分析軟件	•可對光譜峰位、峰高和半高寬等進(jìn)行擬合。 •可自動擬合并計(jì)算應(yīng)力、晶化率、載流子濃度等信息，樣品數(shù)據(jù)庫可定制。 •將擬合結(jié)果以二維圖像方式顯示。